microssistema eletromecânico / Micro-Electromechanical System (MEMS).

 Circuito integrado, chip, dispositivo eletrônico ou sistema eletrônico, resultado da integração de elementos micromecânicos, tais como sensores e atuadores, com a eletrônica.

→ Em sua tecnologia de fabricação, os microssistemas eletrônicos, elétricos e mecânicos estão integrados em um único pedaço de pastilha de silício, chamado substrato.